1、高纯氦气气瓶应置于专用库房贮存,库房应契合《建筑设计防火标准》的有关规定。
2、高纯氦气的空瓶与重瓶应分开放置,并有明显的标志,在附近设置灭火器材。
3、瓶内的高纯氦气彼此触摸能引起燃烧、、产生毒物的气瓶,禁止放在同一库房内。
4、气瓶放置应整齐、戴好瓶帽,立放时应妥善固定,横放时顶部朝同一方向。
另外,存放高纯氦气的库房内不得有地沟、暗道,禁止明火和其他热源。库房内应通风、枯燥,防止阳光直射、雨水淋湿,液氩生产厂家,谨防库房内积水,液氩储罐厂家,腐蚀钢瓶。
半导体工业用气体品种多、质量要求高、用量少
应用于LED产业的特种气体半导体工业用气体品种多、质量要求高、用量少,大部分是有毒或腐蚀性气体。品种高达百余种。半导体工业特种气体按照应用分类,主要包括:(1)硅族气体:含硅基的类,如(SiH4)、二氯二氢硅(SiH2Cl2)、乙(Si2H6)等。(2)掺杂气体:含硼、磷、等三族及五族原子之气体,如三氯化硼(BCl3)、、磷烷(PH3)、烷(AsH3)等。
2、高纯气体充装的抽空操作:
①开启真空泵,同时抽空汇流排,负压值≥0.1MPa,继续抽真空15~30min,液氩价格,关闭抽空管道截止阀后,襄阳双沟液氩,停止真空泵;
②缓慢开启抽空总阀(防止泵油外溢)。
③真空表指示值<-0.1MPa
④抽空5~15分钟后。
⑤关闭抽空总阀。
⑥开启通气阀(防止抽空管路过油)。
⑦关闭真空泵,抽空结束。
3、高纯气体充装的管道保压操作:
①充装结束后,关闭充装排总阀。
②30分钟后高纯,高纯气体充装要多久目测压力表压降低于10~15%。
高纯气体在充装前需要做的准备工作主要就是这些,大家要根据说明进行正确操作,从而使其性能得到充分的展示,更多关于高纯气体的信息,将继续为大家整理,欢迎及时查阅。
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