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分子泵应用常见问题:
1、分子泵运行以前请确定分子泵安裝妥当,安捷伦涡轮分子泵修理中心,电缆恰当联接并确定处在卡紧情况。
2、分子泵在接电源后及一切正常运行时旋转工件是由磁场力支撑点飘浮的,请尽.量不必碰触泵壳及控制板,非常是电缆,安捷伦涡轮分子泵修理销售,肯定不可以碰触。
3、当终止分子泵,请先得出关机命令(STOP),待分子泵降速完毕,ROTATION显示灯灭掉(液晶显示器上显示信息STOP,广州安捷伦涡轮分子泵维修,及转速比显示信息为0%),确定分子泵早已彻底终止,才能够断电。如必须拆装线缆,在如上述情况一切正常关机并关闭开关电源后,才能够拆下来线缆,分子泵在一切正常运行时肯定不可以拔下电缆线电源插头。安捷伦涡轮分子泵维修
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当碰到出现意外关闭电源时,分子泵会产生警报(POWERFAILURE),这时分子泵会自发电量以保持內部旋转工件维持飘浮情况,另外降速运作(BRAKE),在降速到一定转速比时,自发电量终止,旋转工件坠落(TOUGHDOWN),由维护滚动轴承支撑点再次转动降速直到彻底终止。在分子泵旋转工件掉到维护滚动轴承时,分子泵会传出较为大的响声,这类状况是一切正常的。碰到出现意外关闭电源时,请想方设法尽快地恢复供电系统,如能在五分钟以内修复供电系统,则不容易产生TOUGHDOWN,转动感受修复飘浮情况,重启还可以开展。安捷伦涡轮分子泵维修
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这种分子泵的维护可具体分为:1)牵引分子泵气体分子与高速运动的转子碰撞以获得动量,并被驱动到泵出口。 2)涡轮分子泵通过与高速旋转的动叶片和固定的固定叶片配合实现抽气。 这样的泵通常以分子流动状态运行。 3)复合分子泵它是由两个涡轮泵和牵引泵串联而成的复合分子真空泵。
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涡轮分子泵也是一种机械式真空泵,通过高速旋转的多级涡轮转子叶片和静止叶片的组合进行抽气的,在分子流区域内对被抽气体产生很高的压缩比,从而获得所需要的真空性能。涡轮分子泵极限真空比扩散泵高,可达10^-8pa。正常工作时需要一定的前级真空度,其真空度高低视泵不同略有差异,一般在1-200Pa之间,可采用机械泵作为前级泵,高真空机组是由分子泵和机械泵组成的。由于涡轮分子泵的转速高,通常用中频电机带动,中频电源的频率在300-400Hz之间。涡轮分子泵一般采用水冷方式。
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工作条件
(1)转子转速达到20000r/min,故分子泵启动时间较长。
(2)气体处于分子流状态,故需要配备前级泵,一般使用旋片泵作为前级泵。
分子泵特点
油润滑分子泵:润滑油量小,且在前级真空段,对真空室污染小。
脂润滑分子泵:油脂量,前级配干泵可获得近似无油的清洁真空。
全磁悬浮分子泵:无须润滑,与干泵一起使用,安捷伦涡轮分子泵维修中心,可获得无油的清洁真空环境。
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20世纪70年代末开始,人们对真空装置提出更高的要求,既除了能获得高真空之外,还需要能够在排气之后导入各种各样的气体,并使其在真空装置中发生化学反应。所采用的泵应能高抽速地排除这类富于反应性的气体,需要的排气能力甚至比低温冷凝泵还要高。为了满足这种日益增长的需求,涡轮分子泵逐渐推广普及。
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