在真空条件下成膜可减少蒸发材料的原子、分子在飞向基板过程中于分子的碰撞,台湾真空镀膜设备,减少气体中的活性分子和蒸发源材料间的化学反应(如氧化等),以及减少成膜过程中气体分子进入薄膜中成为杂质的量,从而提供膜层的致密度、纯度、沉积速率和与基板的附着力。
通常真空蒸镀要求成膜室内压力等于或低于10-2Pa,对于蒸发源与基板距离较远和薄膜质量要求很高的场合,则要求压力更低。
真空镀膜机选购要点解读
1、真空系统由机械泵、扩散泵、增扩泵、油增压泵、罗茨泵、埚轮分子泵等及与它们相匹配的各种气动、手动、电动阀门、管道等组成。
2、根据工艺要求选择不同规格及类型的镀膜设备,其类型有电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等。
3、炉体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。
4、夹具运转形式有自转、公转及公转 自转方式,用户可根据基片尺寸及形状提出相应要求,转动的速度范围及转动精度:普通可调及变频调速等。
5、充气方式可选用质量流量计、浮子流量计 针阀及相应的充气阀门,金属真空镀膜设备,并可选择多路充气管路及相应流量参数。
冷水机能控制真空镀膜机的温度,以保证镀件的高质量。
如果不配置冷水机就不能使真空镀膜机达到、率控制温度的目的,因为自然水和水塔散热都不可避免地受到自然气温的影响,而且此方式控制是极不稳定的。
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