2050型腾胜2018年光学蒸发镀膜机,配金雅克电子枪和金雅克离子源,配韩国双路深冷,配2套800扩散泵带电磁炉加热,配一台1200罗茨泵,2套无振动浙真滑阀泵,10分钟就镀货,新机速度
真空室直径:2050mm,材质不锈钢
极限真空度:3x10Pa 中550-2200
恢复真空度:4x10 Pa≤15min
真空系统:扩散泵+罗茨泵+机械泵(也可根据客户需求选用合适的真空配置)
烘烤温度:350℃可控可调
蒸发源:电阻蒸发/电子束蒸发
膜厚监控:光学监控/石英晶体监控
工件盘:有球面、平面、扇面、行星式工作件供选配
模块化设计:电器控制采用模块化组合,易维护维修;也可根据需要选择配置如:离子源、低温泵、分子泵、低温捕集器等
功能作用:
激光镜 树脂镜片
冷光膜 各种滤光片
分光膜 太阳保护膜
减反膜 硅片镀膜及各种金属膜