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根据环保局的报告,如果没有足够的通风设备使空气流通,VOC存在于室内,室内空气污染程度将比室外空气严重10倍以上。[2]挥发性有机化合物的主要成分包括:烃、卤代烃、氧烃、氮烃、苯系物、有机氯化物、氟里昂系列、有机酮、胺、醇、醚、酯、酸、石油烃等。VOC是挥发性有机化合物的英语简称,通常所说的墙壁涂料中对人体有害的化学物质(重金属除外)是指VOC。这些挥发性有机化合物包括甲醛、氨、乙二醇、酯等。
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电子专用材料电子专用材料是半导体集成电路、各种电子部件(包括有源和无源部件、激光部件、光通信部件、LED部件、液晶显示部件等电子基础产品)制造中采用的特定材料。半导体设备①分立设备、集成电路常见的双极管之一NPN三极管工艺的主要工艺是氧化、雕刻、n型外延、基区扩散、发射区扩散、Al金属化、化学气体沉积(CVD)钝化层等。工艺流程与集成电路生产工艺类似。集成电路制造大致可分为晶片制造、氧化、混合、显影、蚀刻、薄膜等独立的单元。各单元可分为清洗、光阻涂布、曝光、显影、离子移植、光阻去除、溅射、化学气体沉积等不同的“操作步骤”。
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