电子混合气体和计量学上的标准气体有许多相似的特点,但又有许多不同,电子混合气体除了要保证其配制浓度的外,更需要气体具有优良的品质,换言之,电子混合气体必须要确保混合好的气体中含有的有害杂质不能高于某值。在8in以上的IC生产线,也应对混合气体中含有的颗粒物进行控制和定值。
1、电子混合气体的气瓶处理
同其他气体不同,对盛装电子混合气体的气瓶的要求十分严格,高纯氦气公司,否则,即便是混合气体配制的准确度再高,稳定性再好也无法使用。
首先混合气体的气瓶几何尺雨如体积、直径、瓶高度要满足用户要求。在半导体等领域,气瓶通常安放在气瓶柜内使用,气瓶柜的尺寸及连接的管阀件确定后,气瓶的高矮胖瘦就不能随心所欲了。对于不同种类的混合气在气瓶色标、警示标志等方面国外已有极其详细的标准,如美国的CGA、欧盟的ISO等,我们国家在此方面仍在认识和完善中。
2、电子混合气体配制装置技术要求
同其他标准气体制备不同的是,配制电子混合气体的装置似乎更为复杂,电子混合气体配气装置所用的管路必须是EP级别,材质为316L,高纯氦气采购,精密压力表或压力传感器精度优于0.25级,材质316L。为确保配制装置不产生污染使用前要求系统。
标准气体分为实际气体和理想气体。 假设标准气体的理想气体在气体分子之间没有相互作用力。 气体分子本身没有体积。 当实际气体压力不大时,分子之间的平均距离很大,气体分子本身的体积可以忽略不计,而且温度不低,导致分子的平均动能更大, 与实际气体行为相比,分子可以忽略不计,理想气体的行为非常接近,可以作为理想气体处理。 以下所有都是理想的气体,但不应忘记实际的气体与之不同。 与理想气体讨论的结论仅适用于低压低温的实际气体。
标准气体在现代社会中被广泛使用:
1.用于气体产品质量控制
2.仪器的验证和校准
3.用于大气环境污染监测
4,用于医学和临床测试
5,用于建筑家庭环境监控
6,供应高纯氦气,建立测量的可追溯性
7,高纯氦气,确保测量结果准确一致
8,转移幅度
9.促进测量技术和质量监督的发展
配制标准气
制备标准气体的方法因物质的性质而异。 对于挥发性很强的液体物质,可以通过挥发获得。 不能通过挥发获得的那些可以通过化学反应获得,但是所获得的气体通常包含杂质并且需要通过适当的方法进行纯化。
通过上述方法制备的标准气体通常被收集在圆筒,玻璃容器或塑料袋中,并且由于其相对较高的浓度而被存储为多种浓度出售。
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