氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。
由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。
将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。
喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中常用的两种方法。
氦质谱检漏仪应用不锈钢保温器皿：真空保温杯、瓶、锅、饭盒等。
氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，氦气真空检漏仪，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。
检漏时喷枪在漏孔处停留的时间应为仪器响应时间的3倍，该时间再加上氦气在真空系统中的传递时间，即为两次喷氦的较小间隔时间，当然真空系统越庞大，该间隔时间也越长。
检漏仪的响应时间会影响检漏工作的速度，正常运行的仪器响应时间不大于3s。
笔者实测时，在漏点处喷射氦气5～10s后，检漏仪就发生响应，对于如此庞大的真空系统，其反应是相当的灵敏。
主要配置：检漏仪分子泵。
机械泵或者干泵。
定制检漏仪电磁阀。
内置标准漏口。
放大器。
质谱模块。
氦质谱检漏仪不会受到主观因素判断的影响；检测的数据精准；自动生成数据保存，可追溯数据来源。
笔者根据实测经验，两次喷氦的较小间隔时间控制在30s左右，即如果次喷氦后30s内检漏仪还没有反应，则可进行第二次喷氦。
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