氦质谱检漏仪为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。
氦气检漏仪关键零部件全球集优采购，保证了系统的稳定性和可靠性；真空箱内氦气本底抑零，家用空调氦检，保证了检漏的准确性、；检漏时喷在漏孔处停留的时间应为仪器响应时间的3倍，该时间再加上氦气在真空系统中的传递时间，即为两次喷氦的较小间隔时间，当然真空系统越庞大，该间隔时间也越长。
为了避免事故的发生，化工厂商在投建厂房时就应该对化学管道和设备做气密检漏并且后期生产中也需要定期检漏。
氦质谱检漏仪在管道检测方面有两种检测方法，负压法和正压法，一般化工管道采用的是负压法。
负压法就是常说的抽真空，这是氦质谱检漏仪常用的检漏方法。
氦质谱检漏主要领域：航空航天——燃料箱、油箱、及各种电机等；仪表制造——压力传感器、阀门、波纹管和密封焊接件等；
主要配置：检漏仪分子泵。
机械泵或者干泵。
定制检漏仪电磁阀。
内置标准漏口。
放大器。
质谱模块。
氦气检漏仪触摸屏实时显示监测数据和运行参数，监控一目了然。
电气控制系统的连锁保护及声光报警功能，确保了系统的操作安全及可靠运行。
质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进入室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。
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