氦质谱检漏法由于其高的灵敏度、方法的多样性、对各种试件的适应性以及无破坏性，使其广泛应用。
对于体积较大的工件，采用背压发，按照工件体积的大小试用不同大小的检漏罐。
通常把被检工件冲入0.6MPa的纯氦或氦（含量30%）-氮混合气体，然后放入检漏罐中。
氦质谱检漏主要领域：冶金——真空电炉；低温与压力容器——液氮和液氦储存罐、生物制品容器及各类压力容器；轻工产品——保温杯、太阳能集热管、饮料罐口等。
氦气检漏仪关键零部件全球集优采购，保证了系统的稳定性和可靠性；真空箱内氦气本底抑零，保证了检漏的准确性、；主要配置：检漏仪分子泵。
机械泵或者干泵。
定制检漏仪电磁阀。
内置标准漏口。
放大器。
质谱模块。
氦气检漏仪特有的清氦系统，氦质谱检漏系统，快速有效地清除超标的氦本底，保证检测的稳定性和准确性；实时监测氦气压力和浓度，保证了工件检测的精度；
检漏仪对示漏气体的要求：在空气环境中含量尽可能少且组分基本恒定的气体，真空箱式氦检漏系统，满足检漏灵敏度方面的要求，减少本底干扰检测的准确性。
检漏时喷在漏孔处停留的时间应为仪器响应时间的3倍，该时间再加上氦气在真空系统中的传递时间，即为两次喷氦的较小间隔时间，氦检漏系统，当然真空系统越庞大，该间隔时间也越长。
氦质谱检漏仪优势特点：1.采用便携式设计，2.设备外型美观小巧，苏州检漏系统，3.采用液晶触摸屏设计，4.有通讯接口，5.可以方便地将检漏数据输出
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