在真空设备漏情况的检查之中也有的仪器保证了检查效果的稳定性，空调冷凝器检漏，而且这种氦质谱检漏仪系统中的精准的线路检测能力得到了更好的提升，检漏仪喷氦法一般用于检测体积相对较小的部件，将被检器件和仪器连通，在抽好真空后，在被检器件可能存在漏孔的地方(如密封接头，焊缝等) 用喷氦。
的检漏仪器应用让我国许多设备的运转情况得到了更好的监控，特别是在一些真空设备的质量检验之中，应用氦质谱检漏仪已经成为了一种常见的事项，
检漏仪灵敏的部件确保了精准的监测效果，根据各种检测仪器的日常操作模式和应用情况进行分析，发现氦质谱检漏仪其本身拥有着强的检测灵敏度可以精准的定位，并且实现复杂结构之下的漏孔定位测量，在一般工业领域里原子能、发电厂、配电站、合成氨的氮肥生产厂、汽车制造业、造船工业、制冷工业、冶金工业、输气管道、气罐、油罐、锅炉快餐食品包装等都离不开检漏问题，在氦质谱检漏仪的进气法兰处接上橡皮管，橡皮管的前端有直径很小的毛细管，使毛细管在充了氦的被检容器外壁的焊缝和密封接头等处移动，如果该容器有漏隙，经漏隙渗出的氦会被毛细管吸入，检漏仪就会响应。
氦质谱检漏仪的内部一般有标准漏孔，可将标准漏孔拆卸进行校准，如果不能单独校准标准漏孔，就可考虑直接通过氦质谱检漏仪进行漏率部分的校准。
氦质谱检漏方法在真空检漏技术领域里已经得到广泛的应用，这种方法的优点是:检漏灵敏度高，可以检漏到10 -11 Pam3 / s 数量级，仪器响应快，将氦质谱检漏仪与试件用真空橡皮管连接，在试件上用密闭的容器罩住，在容器里充入氦气，检漏仪开始检漏，如果试件有漏点，仪器就可以显示其漏率;
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