（5）等离子法
等离子法利用等离子废气处理设备中的介质阻挡放电过程中，等离子体内部产生富含较高化学活性的粒子，如电子、离子、自由基和激发态分子等。废气中的污染物质与这些具有较高能量的活性基团发生反应，转化为CO2和H2O等物质，从而达到净化废气的目的。
适用条件：适用范围广，净化，尤其适用于其它方法难以处理的多组分恶臭气体。电子能量高，几乎可以和所有的恶臭气体分子作用。
优点：运行费用低，工业废气处理设备，反应快，设备启动、停止十分迅速，随用随开。缺点：一次性投资较高、安全隐患。
二．材料长期以来，人们一直以活性碳颗粒作为吸附剂来吸附这些化学有机物废气，但是由于活性碳颗粒的表面积较小，所以为了增大活性碳接触面积，就须大量填充，废气处理设备，使得吸附装置体积庞大，而且时间一长，碳颗粒会变成粉末，影响吸附量，更有甚者，它需要经常更换，在更换时黑尘四起，严重污染工作场所。黑尘还会进入操作者呼吸道，危害人类健康。活性碳纤维（以下简称ACF）的诞生在整个环保产业是一场革命。ACF是以粘胶基纤维为原料，经高温碳化、活化后制成的纤维状新型吸附材料，与社会上公认的比较好的吸附材料—颗粒状活性炭相比，ACF具有以下显著的的特点：）
近年来，废气处理，膜分离及催化氧化技术在处理工业废气方面备受关注！
1.膜分离法（Separation Membrane）
膜分离是近年发展起来的一种新兴科技技术。膜分离是一种的分离方法，采用高分子膜对有机物进行选择性渗透，在一定压力下使VOCs渗透进而分离。
当VOCs气体进入膜分离系统后，膜选择性地让VOCs气体通过而被富集，脱除了有机废气，使之留在未渗透侧，废气处理工艺，达标后，排出系统；富集了VOCs的气体可进入冷凝回收系统，进行回收。常用的VOCs回收膜有：玻璃膜和橡胶膜。常用的处理废气中VOCs的膜分离工艺包括蒸汽渗透、气体膜分离和膜接触器等。
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