产品描述：
半导体行业专用,各种半导体设备的超纯气体压力测量
产品特征
· 产品体积小
· UC超洁净处理
· 精度高
· 带零调及满偏调节功能
· 产品可靠寿命长
规格参数
| 测量介质 |
各种工业气体、半导体气体 |
| 电气连接 |
插头式 |
| 连接口径 |
1/4VCR、1/4NPT 如需其他尺寸请联系我们。
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| 接液部材质 |
接头： SUS316L |
| 压力范围 |
0～0.3→0～20MPa |
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-0.1～0.3→-0.1～2MPa |
| 精 度 |
± 1.0% |
| 电源 |
24V DC |
| 输出 |
4-20mA 1-5V DC |
| 响应速度 |
1ms以下 |
| 温度范围 |
-20-70℃ |
| 防护等级 |
室内用 |