中图仪器3D轮廓仪SuperViewW1是一款广东白光干涉仪检测仪器,采用的是非接触式光学测量,在获得实时数据的同时,不会对产品造成任何损伤,从而有效节约了生产成本,提高了生产效率,并且在线检测,没有滞后性,从而减少不合格品,对表面缺陷检测亦如此。
产品功能
1)W1广东白光干涉仪检测仪器设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;
2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;
3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;
4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;
5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;
6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。
结果组成
1、三维表面结构:粗糙度,波纹度,表面结构,缺陷分析,晶粒分析等;
2、二维图像分析:距离,半径,斜坡,格子图,轮廓线等;
3、表界面测量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;
4、薄膜和厚膜的台阶高度测量;
5、划痕形貌,摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量;
6、微电子表面分析和MEMS表征。
SuperViewW1广东白光干涉仪检测仪器广泛应用于光学,半导体,材料,精密机械等等领域。是一款非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器。