手套箱常见故障及解决办法
1、水氧含量大于200ppm
原因：新箱调试或误操作。
办法：停止循环，开启清洗，清洗至100ppm以下，EDWARDS RV12 真空泵，开启循环。
2、屏幕显示 主阀压力不足0.4MPa或主阀信号故障
原因：气源压力不足。
办法：换气瓶，增大压力至0.4-0.5MPar。
3、屏幕显示“Pump Switch Off”
原因：真空泵阻力过大，造成跳闸。
办法：维修真空泵后，打开电柜，合上跳闸开关。
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手套箱操作提示
1、不管打开内门还是外门，都必须保证门两边的气压基本平衡，否则，要么打不开，要么发生“气爆”现象。
同样，EDWARDS RV12 真空泵厂家，在对箱体内抽气与充气时，也必须保证三通阀处于打开状态（即保证手套内外的气压相等），否则，手套会膨胀爆裂。
2、如箱体出现漏气，应首先检查过渡室门是否关紧和手套口是否破损。
如还有漏气请检查真空表座、阀门及两个门上的“O”型圈及真空橡皮。
过渡室门与手套口门上的“O”型圈要定期更换（根据用户的使用频率而定）。
3、对系统抽气时，请缓缓打开阀门，并随时注意手套的变化，如出现膨胀，应减慢抽气速度，如仍不能解决问题，应停止抽气，如手套发生爆裂，检查三通阀是否打开。
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真空热蒸发镀膜工艺
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。
在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，EDWARDS RV12 真空泵公司，通常是使用低功函数的活泼金属。
ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。
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