洁净室污染源传播的途径
不但要弄清洁净室的污染源是哪些，其污染途径同样需要分析清楚。从大的方面来看，洁净室的污染粒子主要是通过空气传播与接触传播。但在很多情况下，这两种传播途径是交替存在的、协同传播的。所有的主要污染源都会将所发生、携带的污染粒子散布到空气中，微小的粒子会在空气中扩散，或随气流运动并接触到洁净室的产品或研究对象而构成污染。这些微粒子还可能粘附在墙面、地面、设备表面上，因人员操作、走动或气流的扰动又重新扩散到空气中去，形成二次污染。
较大的粒子如碎屑、细末和纤维，不会远离其生成的地点，但也存在掉落在产品、产品构件之中，或者附着在它们的表面上构成污染。这些粒子还会掉落﹑粘附在操作人员的手套、服装上，随后又污染了其他的产品和洁净室表面。
但机器设备、容器、包装、原材料、手套、服装等与产品直接接触时，附着其上的污染物就可以通过“接触”这个途径传播给产品。
洁净室检测压差标准要求
按照洁净室设计或工艺要求决定维持被测洁净室的正压或负压值。
(1)不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室(区)之间的静压差，应不小于5Pa。
(2)洁净室(区)与室外的静压差，不应小于 10Pa。
(3)对于空气洁净度等级严于 5 级(100 级)的单向流洁净室在开门时，门内 0.6m 处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。
(4)若达不到以上标准的要求，应重新调整新风量、排风量、至合格为止。
洁净室压差检测
1.U 型气压计由于形状像英文大写字母 U 字而得名。实际上 U 型气压计是两个有刻度的连通的玻璃管。加入液体后，一头与大气连通，另一头与被测的气体连通。利用两个玻璃管中的液面差测量气压差。结合已知的大气压数值，就可以得到被测的气压值。
2.斜管微压计可以理解为 U 型压力计的变形。一般情况，U 型压力计的玻璃管垂直读数，斜管微压计的玻璃管倾斜读数。玻璃管倾斜后，实验室检测，同样的压差在玻璃管中显示的距离较大，读数的度较高。所以与 U 型压力计比较，斜管微压计的读数度要高一些。斜管压力计的工作原理图如图 2-37 所示，斜管压力计通常由一个可变化倾角且带有刻度的玻璃细管和底部与其相通的容器构成。容器顶部中央和斜管的另一端分别设有接入口。斜管压差计由于其斜管倾斜角度 a 的的可调性，实验室检测设备，它在 a 角较小时，微小压差在斜管上就对应较长的 l 值。压差的微小变化，都能从 l 值的变化灵敏的辨认，因此常用于测微压差。
3.电子微压计一般是通过压力传感器、电子线路和显示器直接用数字显示压力的数值，如图 2-39。以膜片位移所产生的静电电容或电阻的变化，实验室检测报价，测定一个空间与其周围环境间的压差值，并显示或输出该值。常见的电子微压计与上述膜片式压力计相同之处在于，它同样是依据膜片在两侧不同压力作用下所形成的位移量来反映膜片两侧的压力差；不同之处在于它不是依据机械方式，而是依靠测定膜片位移而产生的静电电容或电阻的变化量来反映所测压差的大小。
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