无机质谱仪适用范围包括元素周期表中绝大多数元素，分析速度快，便于进行固体分析；电感耦合等离子体质谱，微生物质谱仪，谱线简单易认，灵敏度与测量精度很高。
由于化合物有着像指纹一样的质谱，质谱仪在工业生产中也得到广泛应用。
质谱仪具有很高的灵敏度和分辨率，在定性和定量方面有很有优势，所以现在配置质谱仪的实验室越来越多。
有机质谱仪可广泛用于有机化学、生物学、地球化学、核工业、材料科学、环境科学、医学卫生、食品化学、石油化工等领域以及空间技术和公1安工作等特种分析方面。
质谱仪按应用范围分为同位素质谱仪、无机质谱仪和有机质谱仪。
按分辨本领分为高分辨、中分辨和低分辨质谱仪；按工作原理分为静态仪器和动态仪器。
质谱仪以离子源、质量分析器和离子检测器为。
离子源是使试样分子在高真空条件下离子化的装置。
质谱仪zui重要的应用是分离同位素并测定它们的原子质量及相对丰度。
测定原子质量的精度超过化学测量方法，大约2/3以上的原子的质量是用质谱方法测定的。
质谱方法还可用于有机化学分析，特别是微量杂质分析，测量分子的分子量，为确定化合物的分子式和分子结构提供可靠的依据。
火花源质谱仪不仅可以进行固体样品的整体分析，而且可以进行表面和逐层分析甚至液体分析；激光探针质谱仪可进行表面和纵深分析；辉光放电质谱仪分辨率高，可进行高灵敏度，高精度分析。
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