镀膜设备的镀膜方式：离子镀，蒸发镀，溅射镀
(1)镀膜设备的特点： 成膜速度快0.1- 50um/min，设备比较简单，操作容易;制得薄膜纯度高;薄膜生长机理较简单。
镀膜设备镀出的产品掉膜是怎么回事?
一、产品表面洁净度不够，离子源清洗气放大时间长点。
二、清洗是否有加了清洗剂，或者更换了清洗剂，建议用纯水先试一下。
三、工艺参数是否有变动在膜厚和电流上可以做点调整。
真空镀膜设备三大保养技巧
当阀泵连续工作一个月之后，为保持设备的正常运转我们需要更换油。
将泵启动，拧开放油螺栓，玻璃纳米镀膜设备，使泵内的旧油完全排放出来。
拧回放油螺栓，观察油视镜倒入新油加到一定额度，平常换油时应将油盖打开，有需要时用布擦干净箱内污垢。
扩散泵连续使用6个月以上，抽的速度会显然变慢，当操作不当应拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，先用将泵腔及泵胆清洗一遍，小榄纳米镀膜设备，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。
在重新开机前，要注意检漏工作。
真空镀膜设备由许多不同的零件组成，金属配件纳米镀膜设备，它们都是经过各种机械加工完成的，例如车铣、刨、磨、镗、焊接等。
真空镀膜设备在使用过程中，塑料纳米镀膜设备，零件还会受到污染。
这种污染与使用条件及真空泵有关。
例如:真空镀膜机的内壁会被蒸镀材料污染;真空镀膜设备真空抽气机组的机械泵油更是污染源，设备长期工作后会使设备内部形成明显的油膜。
这些污染同样会影响设备的性能，应注意随时清除。
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