工业电子显微镜研发 天津工业电子显微镜 迈基尔

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使用强磁透镜,这是在透射电镜中装上附加的扫描附件

使用强磁透镜,这是在透射电镜中装上附加的扫描附件,使试样发出的二次电子在强磁场中被检测、收集成像,即利用透射电镜的扫描附件做出扫描电镜才能完成的二次电子像,而且这种二次电子像的分辨力往往优于同类电子枪的扫描电镜。

理想膜层的特点:

①良好的导热和导电性能。

②在3-4nm分辨率尺度内不显示其几何形貌特点,避免引入不必要的人为图像。

③不管样品的表面形貌如何,覆盖在所有部位的膜层需要薄厚均匀。

④膜层对样品明显的化学成分有干扰,天津工业电子显微镜,也不显著的改变从样品中发射的X射线强度。
这层膜主要增加样品表面的导电性能和导热性能,导电金属膜层的厚度普遍电位在1-10nm。


电子束撞击样品的三个信号

当电子束撞击样品时,随着电子进一步穿透到样品内部,天津工业电子显微镜,会发生多种相互作用。
在扫描电镜中有三个重要的信号,分别是背散射电子、二次电子、X 射线,如图 1 所示。
关于不同的信号来自于哪个深度,与高能量信号相比,样品深处产生的低能量信号到达表面的概率更低。
也就说,较低能量的信号更容易被样品吸收,而较高能量的信号更容易被散射。

二次电子能量相对较低(通常 < 50eV),虽然在整个相互作用区中都可产生二次电子,但只有样品表面的二次电子才可以逸出材料表面,从而被检测到,这种特性使得二次电子可以提供更好的形貌信息成像。
背散射电子来自从样品中散射逸出的入射电子。
这种散射过程高度依赖于电子运动路径上所遇到的原子。
这意味着,可以从背散射电子信号中观察出成分称度差异。
背散射电子的能量比二次电子高一个数量级,可以提供样品更深处的成像信息。


电子光学系统包括电子、电磁透镜、扫描线圈、样品室等,主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成象。
电磁透镜:热发射电子需要电磁透镜来成束,所以在用热发射电子的扫描电镜上,电磁透镜。
通常会装配两组:汇聚透镜和物镜,汇聚透镜仅仅用于汇聚电子束,工业电子显微镜研发,与成象会焦无关;物镜负责将电子束的焦点汇聚到样品表面。

扫描线圈的作用是使电子束偏转,并在样品表面作有规则的扫动,电子束在样品上的扫描动作和显像管上的扫描动作保持严格同步,因为它们是由同一扫描发生器控制的。


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发布时间
2022-09-26 02:06
所属行业
元素分析仪器
编号
30379923
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