能量色散X射线光谱仪（EnergyDispersive X-Ray Spectroscopy，EDX）
能谱分析是当今材料领域研究人员广泛采用的技术。
如图3，利用SEM，各种信号可以提供给定样品的不同信息。
当SEM与EDX探测器结合使用时，X射线也可以用作产生化学信息的信号。
EDX借助于试样发出的元素特征X射线波长和强度进行分析，根据波长测定试样所含元素，根据强度测定元素相对含量。
根据探针在待测样品表面扫描方式不同，扫描电子显微镜研发，可分为点、线、面分析三种方式：
<1>点分析
将分析范围定位到样品中感兴趣的点上，进行定性或定量分析，常用于显微结构的成分分析，如材料的晶界，析出相，夹杂相等。
<2>线分析
电子束沿着特定的方向进行线扫描，能获得元素含量变化的线分布曲线。
如果和样品的形貌像相对照分析，可直观分析元素在不同相或区域内的分布和变化趋势。
<3>面分析
利用电子束对样品表面的特定区域进行扫描，元素在试样表面的分布能在CRT上以亮度分布显示（定性分析）。
能谱中的峰高与样品中元素的含量相关
能谱中的峰高与样品中元素的含量相关。
以氟化锶 (SrF2) 为例。
根据化学计量比，预估氟峰应该是锶峰的两倍，而实际上，锶峰是氟峰的两倍。
因此，为了提供的定量结果，软件必须考虑以下几个因素进行修正，这个过程被称为算法修正。
对于大范围的扫描分析，河南扫描电子显微镜，每个像素的分析时间可能需要长达一秒钟，因此对大范围内所有像素进行分析非常耗时。
所以在面扫模式下，扫描电子显微镜销售，通常会在准确性和速度之间寻求平衡。
电镜的软件可以确保重叠的信号被正确地解卷积计算。
使用强磁透镜，这是在透射电镜中装上附加的扫描附件，使试样发出的二次电子在强磁场中被检测、收集成像，即利用透射电镜的扫描附件做出扫描电镜才能完成的二次电子像，而且这种二次电子像的分辨力往往优于同类电子枪的扫描电镜。
理想膜层的特点：
①良好的导热和导电性能。
②在3-4nm分辨率尺度内不显示其几何形貌特点，扫描电子显微镜厂家，避免引入不必要的人为图像。
③不管样品的表面形貌如何，覆盖在所有部位的膜层需要薄厚均匀。
④膜层对样品明显的化学成分有干扰，也不显著的改变从样品中发射的X射线强度。
这层膜主要增加样品表面的导电性能和导热性能，导电金属膜层的厚度普遍电位在1-10nm。
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