复合改性是指综合采用多种方法(物理、化学和机械等)改变颗粒的表面性质以满足应用的需要的改性方法。目前应用的复合改性方法主要有有机物理/化学包覆、机械力化学/有机包覆、无机沉淀反应/有机包覆等。表面改性设备可分为干法和湿法两类。非金属矿粉常用的干法表面改性设备是SLG型连续粉体表面改性机，高速加热混合机，涡流磨及PSC型粉体表面改性机等。常见的湿法表面改性设备为可控温反应罐和反应釜。
化学气相法按加热方式又可分为热化学气相沉积法、激光诱导法、等离子体法、紫外线法、湿化学法等，微流控芯片加工，通过液成为纳米粒子，不用苛刻物理条件，产物组分可控制。湿化学法又可分为溶胶一凝胶法、喷雾热解法、沉淀法和水热法。由于PMMA纳米复合材料具有一系列的优异特性，系统地研究纳米粒子对PMMA的改性作用，微流控芯片原理，发展纳米材料和纳米结构的新型产品具有非常重要意义。
物理修饰法采用高能物质作用于PDMS表面，北京微流控芯片，以改变PDMS表面化学的组成性质、或是在PDMS材料表面沉积一-层新材料。主要方法包括等离子体处理、紫外光(UV)照处理、紫外光照加臭氧(UVO)处理、及激光处理等。采用这些方法进行PDMS表面处理，操作简单，能在PDMS表面生成羟基等亲水性基团而使其亲水性、电渗流特性得到明显的改善。
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