半导体XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,XRD晶粒尺寸机构,以及行业应用技术开发。
X射线产生原理
X射线是一种频率很高的电磁波,其波长为10-8-10-12m远比可见光短得多,因为其穿透力很强,并且其在磁场中的传播方向不受影响。小提示:X射线具有一定的辐射,对人体有一定的副作用,目前主要铅玻璃来进行屏蔽。
X射线是由高速运动的电子流或其他高能辐射流(γ射线、中子流等)流与其他物质发生碰撞时骤然减速,XRD晶粒尺寸费用多少,且与该物质中的内层原子相互作用而产生的。
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XRD晶粒尺寸半导体XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
便携式XRD分析仪
布拉格方程是X射线在晶体中产生衍射需要满足的基本条件,其反映了衍射线方向和晶体结构之间的关系。
布拉格方程:2dsinθ=nλ
其中,θ为入射角、d为晶面间距、n为衍射级数、λ为入射线波长,2θ为衍射角
X射线发生系统(产生X射线)是“太阳”,测角及探测系统(测量2θ和获得衍射信息)是其“眼睛”,记录和数据处理系统是其“大脑”,三者协同工作,输出衍射图谱。X射线在晶体中的衍射现象来获得衍射后X射线信号特征,经过处理得到衍射图谱。
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半导体XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,宁夏回族自治XRD晶粒尺寸,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
(2)获得了一批Co合金试样的XRD衍射数据,试样中Co含量超过95%。试样的谱线均在纯钴谱线左侧,XRD晶粒尺寸联系方式,低角度谱线偏离0.2度左右,高角度谱线偏离0.3-0.4度左右。请问它们是第二相固溶引起的吗?它们与固溶程度有什么定性和定量的关系?
根据布拉格公式,峰位置向左偏移,相当于d值变大了,反映其晶胞参数变大了,说明在Co的晶格中渗入了其他的原子。另外,没有出现新的衍射峰,说明是铝的无序固溶体,保持着纯铝的晶体结构。
(3)已知X射线衍射数据,如何计算晶粒尺寸晶格常数和畸变?
根据衍射峰的峰形数据可以计算晶粒尺寸晶格常数和畸变。在衍射峰的宽化仅由于晶粒的细小产生的情况下,根据衍射峰的宽化量应用Scherrer公式便可以估算晶粒在该衍射方向上的厚度。
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