半导体XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，单晶XRD哪里有，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
设备介绍：
X射线/紫外光电子能谱仪（XPS/UPS）利用X射线（或者紫外线）照射样品激发出光电子，并通过检测和分析光电子动能大小与光电子信号强度的关系，确定样品中所含元素种类及其化学态。Nexsa具备XPS、UPS功能，可采用微聚焦小光斑（小10 μm）实现微区成像与成分分析，并具有深度剖析功能，可以检测分析块体、薄膜、粉末或器件等固体样品的元素组成、化学价态、价带、功函数等信息。
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什么是标准半峰宽度，如何得到？
所谓的标准半峰宽应该是指仪器本身的宽化因子，和实验时使用的狭缝条件关系，想得到它并不难。
比如在相同的测量条件下，单晶XRD服务，把 Si 标样放到仪器上测量 Si 的各个衍射峰的 Kα1 峰的半高宽，就是所谓的标准了。当你需要测量一系列非标样 Si 粉时，就把标样 Si 的 Kα1 峰的半宽作为标准半峰宽使用就可以了。
但，有很多时候合适的标准物质很难得到，你就用另外的标准物质（出峰位置很相近的标准物质）代替，也完全没有问题。也可以根据 Si 标样在整个扫描范围内的衍射峰的 Kα1峰的半高宽作出仪器宽化因子-2θ关系曲线来得到任意进度的仪器宽化因子。因为谢乐方程的适用条件也就是几十到 200nm 之间，超出这个范围误差是很大的。只要你在进行相同的一系列计算时使用相同的一个参数就一般就可以满足研究工作的要求了。
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特别是混合物，单晶XRD机构，各相之间的MAC都随所选波长而变化，波长选择不当很可能造成XRD定量结果不准确。
因为不同元素MAC突变拥有不同的波长，该波长就称为材料的吸收限，若超过了这个范围就会出现强的荧光散射。所以分析样品中的元素选择靶材时，一般选择原子序数比靶的元素的原子序数小1至4。就会出现强的荧光散射。例如使用 Fe 靶分析主要成分元素为 Fe Co Ni 的样品是合适的，而不适合分析含有Mn Cr V Ti 的物质常见的阳极靶材有：Cr， Fe， Co， Ni， Cu， Mo， Ag， W，常用的是Cu靶。
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