XRD掠入射（GIXRD）单晶XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
xrd原理
XRD的基本原理：X射线是原子内层电子在高速运动电子的轰击下跃迁而产生的光辐射，主要有连续X射线和特征X射线两种。
XRD 即X-ray diffraction 的缩写，X射线衍射，通过对材料进行X射线衍射，分析其衍射图谱，安徽XRD掠入射（GIXRD），获得材料的成分、材料内部原子或分子的结构或形态等信息的研究手段。
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EDS及XRD的性能区别
1、EDS是针对一些元素的含量进行测试，XRD是测试晶体结构的。
2、EDS (Energy Dispersive Spectrometer）能谱分析，能谱仪是与扫描电子显微镜或透射电镜相连的设备。在微米或纳米尺度上对扫描电镜或透射电镜内通过电子碰撞所产生的X射线的能量进行测量来确定物质化学成分。分析范围：4-100号元素定性定量分析。
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游离二氧化硅与的关系
生产过程中因长期吸入含有游离SiO2粉尘达到一定量， 会引起以肺部组织纤维化为主的疾病，即病。是中进展速度快、严重并且常见和影响面广的一种职业病。游离二氧化硅粉尘---矽尘， 以石英为代表，XRD掠入射（GIXRD）费用，其包含的游离SiO2含量可高达99%。不同晶体结构致肺纤维化能力大小为：结晶型>隐晶型>无定型；石英有多种晶体结构， 如：鳞石英、α-石英、方英石、β-石英等，其致纤维化作用能力的大小为：鳞石英>方石英>石英>柯石英>超石英。
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