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真空镀膜系统
机械泵的目的是为了获得低真空,通过机械方法改变泵内吸气空腔的体积,使得被抽容器内的体积不断膨胀,从而获得粗真空,旋片式真空泵由转子、定子和旋片等结构构成,其中,定子在油箱中,油起到润滑的目的,挥发的油经由排气口排出,经过真空泵油雾过滤器过滤,油雾颗粒被过滤器,过滤后可实现再利用。镀膜工艺由多种不同的泵组合原因就是为了获得高真空,因此第二步就是油扩散泵,之所以要在油扩散泵前安装机械泵,是因为油扩散泵不能直接在大气压下工作,需要一定的预备真空度。油扩散泵获得真空的方法主要是油的蒸汽压与气体分子的反扩散,为了防止油扩散泵返油就需要使用的泵以及有效的冷阱,大型镀膜机使用更有效的高真空组合。
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真空镀膜系统
在OLED显示面板的制造过程中,需要在玻璃基板上进行有机膜层的真空蒸镀,该工作步骤需要在真空蒸镀机内来完成。因此,提供一种手套箱蒸镀一体机,本系统由真空镀膜系统和真空手套箱系统集成而成,可在高真空蒸镀腔室中完成薄膜蒸镀,并在手套箱高纯惰性气体氛围下进行样品的存放、制备以及蒸镀后样品的检测。
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真空镀膜机检漏
要承认漏气究竟的虚漏仍是实漏,因为工件资料加热后都会在不同程度上发生气体,有也许误以为是从外部流进的气体,这即是虚漏,要扫除这种状况。
第二,测验好真空室的气体密封功能,真空镀膜价格,确保气密功能符合要求。
第三,查看漏孔的巨细,形状、方位,漏气的速度,制备出可处理方案并施行。
第四,断定检查仪器的1小可检漏率和检漏灵敏性,以1大规模的检查出漏气状况,防止一些漏孔被疏忽,进步检漏的准确性。
第五,掌握检漏仪器的反应时刻和消除时刻,把时刻掌握好,确保检漏仪器作业到位,时刻少了,检漏作用必定差,时刻长了,糟蹋检漏气体和人工电费。
第六,还要防止漏孔阻塞,有时因为操作失误,检漏过程中,一些尘埃或液体等把漏孔阻塞了,以为在该方位没有漏孔,但当这些阻塞物因为内外压强区别进步或别的缘由使漏孔不堵了,那漏气仍是存在的。
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