半导体XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
X射线衍射技术(XRD)的发现距今以及有一百年，历有三次的诺贝尔奖（1914，XRD残余应力检测服务，1915，1936）都与它有关。如今，它已经是材料科学中基本的表征手段。通过XRD测试，我们可以知道材料的结构、晶胞参数和缺陷情况等。下面，我们就一起来深入了解一下XRD的原理以及应用吧！
XRD工作原理
X射线衍射作为一电磁波投射到晶体中时，会受晶体中原子的影响出现衍射现象。每种晶体内部的原子排列方式是制定的，因此对应的衍射花样是制定的，从而可以进行物相分析。
便携式XRD分析仪
布拉格方程是X射线在晶体中产生衍射需要满足的基本条件，其反映了衍射线方向和晶体结构之间的关系。
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（2）获得了一批Co合金试样的XRD衍射数据，试样中Co含量超过95%。试样的谱线均在纯钴谱线左侧，低角度谱线偏离0.2度左右，高角度谱线偏离0.3-0.4度左右。请问它们是第二相固溶引起的吗？它们与固溶程度有什么定性和定量的关系？
根据布拉格公式，峰位置向左偏移，相当于d值变大了，反映其晶胞参数变大了，说明在Co的晶格中渗入了其他的原子。另外，没有出现新的衍射峰，说明是铝的无序固溶体，保持着纯铝的晶体结构。
（3）已知X射线衍射数据，如何计算晶粒尺寸晶格常数和畸变？
根据衍射峰的峰形数据可以计算晶粒尺寸晶格常数和畸变。在衍射峰的宽化仅由于晶粒的细小产生的情况下，根据衍射峰的宽化量应用Scherrer公式便可以估算晶粒在该衍射方向上的厚度。
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六角结构的晶体在生长时它的内在的优先生长方向是哪一个？
一般来说晶体沿短轴方向生长速度快 ，垂直于长轴方向的晶面密度较大，从能量的角度说，XRD残余应力检测哪家好，当晶体生长时，这样的格位更稳定一些。
在 X 射线测量中（三方晶系）通常给出的都是六方的晶格常数例如 a=b=5.741， c=7.141，夹角分别为 120°，120°，新疆维吾尔自治XRD残余应力检测，90°。现在我想把它换算成三方结构的晶格常数 a=b=c=? ， 夹角 a=? 你是通过对衍射数据指标化得出的六方晶格常数，还是从文献得到的？如果你的晶胞是菱
方格子，那么用六方定向和菱方定向是一样的。
梁敬魁的《粉末衍射法测定晶体结构》中有公式可以由三方转六方，或六方转三方。
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