高纯供气系统
高纯氮气纯化装置以深冷法制氮、PSA变压吸附制氮，氮膜分离制氮的普通氮气为原料，经过加氢催化除氧，冷凝、吸附二级干燥，过滤，除去氮气中的杂质氧、二氧化碳、水份和尘埃，获得高纯度的氮气。
用户对纯氮中的含氢量有特殊要求时，我们可以通过工艺手段来控制氮气中的氢气含量。
若原料氮的氧含量超过0.1%时，则可用加氢除氧和除氢的方式来获得无氢高纯氮，若原料氮的氧含量小于0.1％，则采用化学除氧工艺方法。
特种气体的应用
电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业，由于所用气体的品种多、质量要求高，为有别于其它领域应用的气体，人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体，它是当今兴起的高技术含量、高投入、高附加值的高新技术产业。
电子行业常用的特气超过三十余种，按危险性质可分为不燃气体、可燃气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体等。
按照物理形态可分为压缩气体、液化气体和低温气体。
特种气体的应用领域主要在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器、光纤生产四大领域，其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。
在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体，其中常用的有20～30种。
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高纯供气系统
集中供气系统需要规划设计一个独立的气瓶室，根据实验室的布局和用气情况在实验室的每层或几层设置一个气瓶室，也可在实验室外部设计一个为整个实验室供气的气瓶室，钢瓶储存区应合理布置，高纯供气价格，保持可燃性容器和助燃性容器间的安全间距。
气瓶室墙宜采用实体结构，门应设计为防爆门，安装防爆灯以及防爆风机，万一发生事故可减少实验室区域的破坏性。
存放钢瓶屋内不宜吊顶。
气瓶室内还应设有气体泄漏、低压换气报警设施，及排风装置，广东高纯供气，同时设计时还应考虑防雷、防静电、空调设备等设施。
为了保证气体纯度和压力的稳定性，需采用多级减压方式供气，宜设置气路吹扫、排空、杂质过滤、水分和油汽净化等装置，有条件的可采用双气源自动切换模式供气。
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