洁净室检测
1．洁净度检验:于距地板高度约1.23~1.25M用微尘粒子计数计测试之，测试完毕，应列印其数值记录。
2．风速及风量检验:于ULPA下方约150M / M处，用热线式风速计测定，洁净工作台检测标准，原则上每只ULPA测定两点，每点之测定时间约5秒;风量则依风速之测试值，以下式之公式计算之。风量=平均风速×出风之面积（ULPA之面积)。
洁净室检测压差标准要求
按照洁净室设计或工艺要求决定维持被测洁净室的正压或负压值。
(1)不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室(区)之间的静压差，洁净工作台检测，应不小于5Pa。
(2)洁净室(区)与室外的静压差，不应小于 10Pa。
(3)对于空气洁净度等级严于 5 级(100 级)的单向流洁净室在开门时，门内 0.6m 处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。
(4)若达不到以上标准的要求，洁净工作台检测设备，应重新调整新风量、排风量、至合格为止。
洁净室自净能力检测
一、测试目的，确认在无尘室释放颗粒后，测量在多少时间内能恢复到释放之前的洁净水平。
二、测试仪器，颗粒测试仪（品牌 MET ONE），型号：3313、2100、颗粒释放器。
三、测试位置，任意抽取测量点，也可与相关人员共同确认测试点。
四、测试步骤
1.在测试开始之前要保证净房空调系统正常运转24以上，让洁净环境达到一个稳定的水平。
2.在抽取的测量点放好颗粒计数器，先做颗粒洁净度测试，记录该房间每立方英尺体积的空气中含有的0.3um颗粒数量，连续测试数分钟，洁净工作台检测公司，待取一个稳定的数据，此时，再将该房间的整个空调系统全部断电。
3.在该房间内释放颗粒，使于外界非洁净区域的颗粒自使整个洁净室0.3um的颗粒浓度达到之前浓度的10或100倍。此时再启动空调系统，使其正常运行，测试该洁净室内颗粒浓度恢复到之前水平所需要的时间
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