洁净室泄漏检测
1.于ULPA上游侧，测定一次侧之外气或回风浓度，以决定微尘粒子通过ULPA之容许渗透值（可以ULPA本身之透过率或率，计算之间。
2.距 ULPA测试面下方30—50MM处，以微尘粒子计数器设定30—50M /M每秒;之速度量测之，每量测距离间距5OM / M，其量测方向为由外围渐次向内，
3.在防侦烟器等部分均必须做量测。
将泄漏测定之状态与数值记录列印出来。
洁净度检测时，使用光散射粒子计数器的取样量
关于尘埃粒子计数器检测时的空气取样量，在GBJ73-84中规定:对于100级的净化车间，每次取样量应大于或等于1L，洁净手术室检测报告，对于1000~10000级的净化车间，每次取样量应大于或等于0.3L，对于10000级的净化车间，每次取样量应大于或等于0.1L。
对于100级净化车间，宜采用大流量粒子计数器进行测试。
如果不具备，洁净手术室检测报价，也应采用每次采样量不小于1L的粒子计数器。
在对净化车间进行洁净度检测时，尽管规定了空气的小采样量，但在实际工作中，我们应在保证小采样量前提条件下，根据已有的检测设备，尽量采用大流量的尘埃粒子计数器。
洁净室检测测定方法
清洁度测试方法对过程控制、和失效分析非常重要，洁净手术室检测，是概括用于获得有关测定主体如各种机械设备、电子零件等清洁度测试的详细过程。
清洁度测试时对取样有要求，取样的基本要求决定于样品的数量和取样位置。
零件体积越大、表面积越大、清洁度偏低，则样品数量相应减少。
应该从生产中随机抽取零件，并且采样过程和后面的检查过程中不能造成零件的污染。
清洁度测试时，一要环境清洁，其清洁度测试应与检测的要求相适应；二要检测人员的衣帽和双手清洁；三要所用器具也必须清洁。
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