流量控制器
气体质量流量单位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute，质量流量传感器，每分钟标准毫升）和slm（Standard Liter per Minute，每分钟标准升）来表示。
这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，质量流量传感器厂家，指示的流量均是标准状态下的流量。
标准状态规定为: 气压—101325Pa (760mm Hg); 温度—0℃ (27****K)。
这是这种仪表和其它流量计的重要区别，质量流量传感器哪里有，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之处。
流量控制器能用于控制腐蚀性气体和特殊气体吗? 如何选择密封材料?
质量流量控制器可以用于控制各种气体， 包括腐蚀性气体和特殊气体， 但是要注意， 对于使用腐蚀性气体和特殊气体， 需要恰当选择型号和密封材料。
用户在订货时， 需要向供货厂商特殊声明使用气体，质量流量传感器价格， 以免因为选型或选择密封材料错误， 造成严重损失。
通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等， 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。
金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。
采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体， 包括各种腐蚀性气体和特种气体。
由于金属密封的MFC价格较高， 通常要求不高的场合， 均采用橡胶密封的MFC。
如果不特殊声明， MFC都采用氟橡胶密封， 可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体， 例如可以用于卤族干燥气体。
其它一些特殊腐蚀性气体， 需要采用特种橡胶。
氨气——需要采用耐氨橡胶， 如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶; 三氯化硼等——需要采用全氟橡胶。
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流量控制器的原理是什么？
质量流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成。
质量流量控制器的剖面结构图见图1。
气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。
将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大， 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较， 再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
分流器决定主通道的流量。
与质量流量控制器配套的流量显示仪上设置有稳压电源，数字电压表， 设定电位器， 外设、内设转换和三位阀控开关等。
气体质量流量控制器与流量显示仪连接后的工作原理。
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