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性能/参数 |
BASIS系列质量流量控制器-OEM |
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流量范围 |
0-100SCCM、1000SCCM、20SLPM、50SLPM |
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标定气体 |
内置7条气体可选择 |
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精度(调零后) |
±(1.5%Rd+0.5%FS) |
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重复性 |
±0.5%Rd |
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漂移(零点/满量程) |
0.02% F.S/ºC/Atm |
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工作范围 |
1- |
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响应时间 |
100毫秒(调整) |
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启动预热时间 |
1秒内 |
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标准工况 |
25ºC & 14.696 psia |
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工作温度范围 |
0~-50℃(另有高温订制品) |
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工作湿度范围 |
0-90%RH(非冷凝) |
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耐压 |
10Bar |
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进口工作压力 |
4Bar内 |
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安装方向 |
任意 |
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阀门状态 |
常闭 |
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材质 |
SUS不锈钢、密封圈VITON |
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数字信号 |
RS485(ACSII、MODBUS-RTU) |
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模拟信号 |
标准0-5V 选配:4-20mA |
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电气接口 |
标准DB9 |
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供电电压 |
+24VDC，200mA |