可快速地测量与控制过程气体的质量流量、体积流量
和压力，并将对系统可能产生的影响降到低
LD12/LKD13设备具有超低压损，低可达1.8 mbar(200:1量程可调比)
满量程压损低可达3.6 mbar (0.052 psi)。
低压损意味着对系统影响
更小、测量(<10 ms)与控制(<100ms)速度则更快。
标准精度0.8%RD+0.2%FS、高精度0.4%RD+0.2%FS
有效范围0.5-
内置90-130条气体曲线可选
响应速度100MS
多种数字信号可选
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性能/参数 |
LKD13系列质量流量控制器 |
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流量范围 |
0.5SCCM-1000SLPM 可自行修改流量单位如kg/h、g/min等 |
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标定气体 |
内置90条气体可选择 |
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精度(调零后) |
±(0.8%Rd+0.2%FS) |
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高精度(调零后) |
±(0.4%Rd+0.2%FS),限于5SCCM-500SLPM |
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重复性 |
±0.2%FS |
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漂移(零点/满量程) |
0.02% F.S/ºC/Atm |
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工作范围 |
0.5- |
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响应时间 |
100毫秒(调整) |
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启动预热时间 |
1秒内 |
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标准工况 |
25ºC & 14.696 psia，可自定义修改 |
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工作温度范围 |
-10~-50℃(另有高温订制品) |
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工作湿度范围 |
0-RH(非冷凝) |
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大工作压力 |
3Bar |
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安装方向 |
任意 |
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阀门状态 |
常闭 |
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材质 |
SUS302\303\304不锈钢、密封圈VITON |
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显示屏 |
背光LCD显示屏，显示流量、压力、温度 |
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数字信号 |
标准RS232 选配:RS485、MODBUS-RTU、PROFIBUS、DeviceNet 以太网RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/Modbus TCP-IP) |
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模拟信号 |
标准0-5V/1-5V/0-10V 选配:4-20mA |
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第二路模拟信号 |
标准0-5V/1-5V/0-10V 选配:4-20mA |
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电气接口 |
标准圆形8芯 选配:圆形6芯、DB9、DB15 |
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供电电压 |
+24VDC |
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消耗电流 |
2SLPM以内：250mA 5SLPM以上：750mA 注：1000SLPM消耗2000mA电流 |