进入洁净室的人与物的净化。尽量采用产生污染物质少的工艺及设备，或采取必要的隔离和负压措施，防止生产工艺产生的污染物质向周围扩散。控制该空间的温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电。无尘车间净化工程进风系统要安装：新风过滤箱，中央净化空调(中央净化空调要分为初效/中效/三个过滤段)末端有送风口。
合理的气流组织，即通过送风口与回风口位置、大小、形式的精心设计，实验室净化车间，使室内气流沿一定方向流动，净化车间，防止死角及造成二次污染。无尘车间回风系统要安装：回风口，过滤初效器，中效回风箱。进入无尘车间之前先进入缓冲区，缓冲区门安装电子互锁，更衣处放置洁净储衣柜空气清新机。空气净化一方面是送入洁净空气对室内污染空气进行稀释，另一方面是迅速排出室内浓度高的污染空气。
流速太大将使室内积尘飞扬，车间净化装修，造成污染。系统的气密性不仅通风系统本身要求气密性好，对建筑各部结合处、水暖电工艺管穿越围护结构处也应堵严，防止渗漏。无尘车间的主要作用在于为产品生产(如硅芯片等)和服务提供所需环境的洁净程度，以及温湿度、微震动、噪声、照度等各项指标。在工作中，电子厂净化车间，工作人员应当尽量避免或者减少接触设备的产品的次数，如果可以，还是采取全自动的生产流程。
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