当化学物质通过吸收能量(如热能、光子能量等)，可以使自身的化学性质变得更加活跃甚至被裂解。
当吸收的能量大于化学键键能，即可使得化学键断裂，形成游离的带有能量的原子或基团。
当波段内的真空紫外线(波长范围内184。
9nm-253。
7nm)，促使有机废气物质通过吸收该波段的光子，而该波段的光子能量大于绝大多数的化学键键能，使得有机物质得以裂解;再通过裂解产生的臭氧将其氧化成简单、无害、稳定的物质，如H2O和CO2等。
在废气处理当中，通常使用多的活性炭是蜂窝活性炭。
活性炭原料通过特殊工艺，制作成蜂窝状立方体，常见孔径从1mm-3mm，孔径越吸附表面积越大能力也越强，电镀厂废气处理设备，同时压力损失也会更大。
相对于颗粒炭，柱状炭，蜂窝活性炭有着压损小，易脱附，不易堵塞的优点，目前在废气处理中被广泛使用，吸附箱体作为一个框架用于放置活性炭，在废气治理中，用的多的样式：立式罐吸附器，卧式罐吸附器。
催化燃烧阶段溶剂经风机送入到催化燃烧室前的换热器，然后进入催化燃烧室中的预热器，在电加热器的作用下，使气体温度提高到250-300℃左右，再进入催化燃烧床，有机物质在催化剂的作用下无焰燃烧，被分解为CO2和H2O，同时放出大量的热，气体温度进一部提高，该高温气体再次经过换热器预热未经处理的有机气体，回收一部分热量。
从换热器出来的气体再通过新风入口的换热器对脱附新鲜空气进行加热，经过换热后的气体通过烟囱引高排放。
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