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大功率XRD检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,上海大功率XRD检测,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
13.晶粒尺寸是粗糙的计算,大功率XRD检测分析,是否需要把所有的峰拿来计算晶粒,还是只要一个峰就可以?比如在CeO2上负载1%的Pd这样的Pd的衍射峰很弱,用来计算晶粒尺寸是否可以?误差会很大吗?
答:晶粒尺寸计算用全谱拟合,单个峰计算误差很大。
负载量1%本身就低于XRD检测下限,而且峰很弱,计算晶粒尺寸误差会很大
14.不同靶材测试的,峰是有偏移的。那么在对标的时候是否有设置?或者校正?
答:不同靶材的测试结果放在一起比较时,可以通过Highscore、JADE等软件转换成同一个靶材,再进行比较、分析。
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X射线发生器
X射线发生器由X射线管、高压发生器、管压和管流稳定电路以及保护电路等组成。这里着重介绍X射线管。X射线管的实质是个真空二极管,其阴极是钨丝,阳极为金属片。
在阴极两端加上电流之后,钨丝发热,产生热辐射电子。这些电子在高压电场作用下被加速,轰击阳极(又称靶),产生X射线(此过程产生大量热量,为了保护靶材,必须确保循环水系统工作正常)。
常见的阳极靶材有:Cr, Fe, Co, Ni, Cu, Mo, Ag, W,常用的是Cu靶。
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单晶X射线衍射是利用单晶体对 X射线的衍射效应来测定晶体结构的实验方法。依照强度记录方式的不同,可分为照相法和衍射仪法两类。
照相法使射线作用在胶片上,然后测量底片上衍射点的黑度来获得衍射线的强度数据,根据实验装置和条件的差别,又分为多种方法。
劳厄照相法用连续波长的 X射线照射到静止不动的单晶体上,通常采用平板底片,所摄得的衍射图称为劳厄图。劳厄图常用来测定晶体的对称性和用于晶体的定向等。
优点
形貌观察与结构分析结合
使晶体结构的研究直观,比X射线衍射的简单。
散射能力强,曝光时间短
缺点
只能用来分析方向问题,不能用来测量衍射强度
要求试样薄,试样制备工作复杂
在精度方面也远比X射线低
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