氦质谱检漏仪是如何工作的?氦质谱检漏仪由离子源、分析器、、真空系统、电子线路及其他电气部分组成。
为了方便解释氦质谱检漏仪是如何工作的，我们以磁偏转型的氦质谱检漏仪为例进行说明。
在质谱室的离子源N内，氦检回收系统，气体被电离成离子。
在电场作用下离子聚焦成東，并以-定的速度经由缝隙S1进入磁分析器，在均匀磁场的作用下，具有-定速度的离子束，将按圆形轨迹运动。
调节加速电压U使氦离子束M z恰能通过缝隙S2到达收集极K而形成离子流。
利用弱电流量测设备，使之在输出仪表与音响装置上反映出来。
而其他不同于M2的离子束则以不同的偏转半径而被分开。
检漏步骤为:若步骤1和2均未检出漏点，就要考虑各个真空泵性能的问题，首要检查机械泵油、罗茨泵油是否缺少，如果泵油缺少会大大降低泵的抽气性能，其次检查机械泵的阀片，通过向机械泵排气口喷吹氦气来检测其阀片的密封性。
扩散泵油或扩散泵加热器异常也会造成极限压不合格。
还应检查真空计是否准确以及真空系统设计是否满足技术要求。
氦气是较轻的惰性气体，在喷出时会自动上升，为了准确找到漏孔位置喷氦，使用此方法时喷氦自上而下，由近至远（相对检漏仪的位置），这是因为在下方时有可能被上方漏孔吸入；氦质谱检漏方法 以其高灵敏度和准确性而通常应用于整体防漏等级较高的压力容器上。
氦检方法基本上可分为用氦气内部加压法和 设备内部抽真空外部施氦这两种。
对于分装或总装，采用吸入法。
被检工件冲入氦-氮混合气体，利用被检工件装配面或疑是漏点进行找漏。
检漏仪显示数值超过规定值即为有漏。
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