真空系统
该真空系统出厂时已经包括了抽速控制、进气过滤、主要运行数据显示、运行保护及远程控制接口等。
只需要在现场进行简单的连接电源和管道，即可以组成一个完整的真空系统。
该真空系统的控制系统由先进的PLC控制系统经过编程后组成，以触摸屏为人机界面，实现对真空系统、工件行走、磁控靶、工艺设定和执行、报警保护系统等的全自动化控制。
真空仪器的使用
真空仪使用方法：
将被测的真空管两端断电。
被测的真空管不必从开关柜上拆卸，无磁滑台，但必须使真空管处于正常的断开状态，并打开真空开关进出线的刀闸；将被测的真空管与仪器接线。
具体的操作为：先将仪器接地端接到大地上，再将磁控线圈通过磁场电流线连接仪器的磁场电压正、负端，将高压输出端用高压电缆连接到真空管的静触头上，将离子电流输入端通过离子电流线（屏蔽线）接至真空管的动触头上；
真空仪器
传统的实现真空切换的方式如下：靶台移动至进样孔的内侧开口处以封闭进样孔的内侧开口，对过渡腔进气使过渡腔室的气压与外界平衡，无磁滑台厂家，打开真空箱上的密封盖，进行样品的更换。
样品更换完成后，盖上密封盖，样品靶触碰到微动开关，表明盖已盖好，但无法判断密封圈是否正常；对过渡腔进行抽吸，预抽一段时间后，通过低真空规判断预抽的真空度，直到过渡腔达到预定真空度，无磁滑台厂家，才可进靶，此时，由于过渡腔室的压强小于真空腔的压强，当靶台移走并打开进样孔的内侧开口之后，过渡腔室和真空腔贯通，真空腔由高真空瞬间变成粗真空环境，无磁滑台价格，此时需要再通过真空泵对真空腔进行抽真空至符合检测环境的高真空状态，并通过真空规进行检测。
真空腔的真空状态通过真空规判断，如此增加了设计的复杂度和成本。
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