半导体XRD检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
小角X射线散射（Small Angle X-ray Scattering)和小角X射线衍射(Small angle x-ray diffraction)是一回事吗？
早期小角 X 射线散射仅指超细颗粒在低角度范围（常指2θ<20°）上的 X射线散射，而现在，小角X射线散射通指在低角度范围（常指 2θ<10°~20°）的 X 射线散射。
X-射线照射到晶体上发生相干散射（存在位相关系）的物理现象叫衍射，即使发生在低角度也是衍射。例如，某相的d值为 31.5?，相应衍射为2.80°（Cu-Kα），如果该相有很高的结晶度，31.5?峰还是十分尖锐的。薄膜也能产生取决于薄膜厚度与薄膜微观结构的、集中在小角范围内的 X 射线衍射。在这些情况下，样品的小角X射线散射强度主要来自样品的衍射，称之为角X射线衍射。对这类样品，人们关心的是其的 d 值或者是薄膜厚度与结构，必须研究其小角X射线衍射。
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在布鲁克的自带软件中有一个软件叫做TOPAS，半导体XRD检测机构，能做这方面的工作，但是，真正会用的人可能不是很多。在帕纳科的 xpert highscore里也有一个模块，可以做这个工作。理学电机的仪器使用美国的软件JADE。为什么JADE里没有这样的模块呢？其实是有的。你看过它的菜单Opti里有一个灰色的命令叫做“Easy quantitative”(快速定量)的东西吗？有的人安装上JADE后，一看这个东西是灰色的，总以为自己的软件来路不正，是不是少了什么。可以说，真的没少什么。因为本来就没有这个东西。我们在买Jade 5时就期望这个东西在新版本中变成黑的。但是，买了Jade 6以后，这个东西还是灰的。但是，也可以说真的是少了点东西。少了定量这一块。原因就是这一块需要单独购买。因为大家都不买，半导体XRD检测哪家好，所有大家都没得用。我不知道为什么大家都不买。我想不是因为大家都象我一样穷，可能的原因是，软件公司先有了菜单，后来想做这个程序，可能原先的想法相当于前面提到的半定量，帕纳科的软件里就有这个东西。但是，后来没有做了，因为技术进步了，形势改变了。现在干脆做成了一个很复杂的东西。这个东西也通过全谱拟合的方法来做定量分析。据说，这个东西的功能很强大，但是，要钱买。我没钱，半导体XRD检测费用多少，没有买，因此也不知道到底怎么样。据说国内有人买了。不知道用得如何。另外，通过一些非X射线衍射的软件也能做这些工作，很多前辈在期刊上发表过一些。大家可以参考。
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椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。由于测量精度高，适用于超薄膜，与样品非接触，对样品没有破坏且不需要真空，使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量仪器。
目前，椭偏仪是测量透明、半透明薄膜厚度的主流方法，它采用偏振光源发射激光，当光在样本中发生反射时，会产生椭圆的偏振。椭偏仪通过测量反射得到的椭圆偏振，并结合已知的输入值计算出薄膜的厚度，是一种非破坏性、非接触的光学薄膜厚度测试技术。在晶圆加工中的注入、刻蚀和平坦化等一些需要实时测试的加工步骤内，椭偏仪可以直接被集成到工艺设备上，以此确定工艺中膜厚的加工终点。
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