半导体XRD研究所 山西半导体XRD检测

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半导体XRD检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。

影响K值的因素有什么?

除了定义上的因素外,还有这么一些问题是要考虑的:

首先,晶粒大小的影响。比如,你在做的是纳米晶粒样品,半导体XRD检测平台,也套用这个K值,误差会很大。我曾试过一个物相不同晶粒的K值,结果相差有多大,简直无法相象,真的差了10倍!这个10倍是要直接用于公式里的分母的。结果会怎么样呢?

其次,化学成份的影响。很多物相都不能算做纯物相,比如某种合金的固溶体,某种蒙脱石。虽然,他们的晶体结构大体上还是没有变化,但它的K值却变了。据分析,不同成分的固溶体,比如Al中可以溶解一些其它元素如Zn,Mg等,不同固溶度下的Al固溶体的K值肯定是不同的。对于合成样品,化学成分的微小差别也会影响K值。不同地域的蒙脱石,其K值可以相差很大。

再次,颗粒度。这里不是说晶粒度,而是说粉末的粒度。也是影响因素之一。

影响K值的还有晶体的结构,原子的占位与掺杂。



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但是,Kβ滤片不能去除样品产生的荧光 X 射线对衍射图的影响。荧光 X 射线的强度将叠加在衍射图的背景上,造成很高的背景,不利于衍射图的分析。因此,对于 X 射线衍射仪 来讲,如果设备没有配置弯晶石墨单色器仅使用 Kβ滤片,选波长(或者说选靶)主要考虑的就是样品中的主要组成元素不会受激发而产生强烈的荧光X 射线。如果分析样品中的元素的原子序数比靶的元素的原子序数小1至4,就会出现强的荧光散射。

例如使用 Fe 靶分析主要成分元素为 Fe、Co、Ni 的样品是合适的,而不适合分析含有 Mn Cr V Ti 的物质;Cu 靶不适合于分析有 Cr,Mn,山西半导体XRD检测,Fe,Co,Ni 这些元素的物质。所以,对于 Cr 是主要组成元 素的样品,只能选择 Cr 靶 X 射线管。



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收集 XRD 应注意些什么?(比如收集角度泛围、速度等有什么要求?

衍射峰的强度和很多因素有关,比如样品的衍射能力,性质,还有仪器功率,半导体XRD检测分析,测试方法, 检测器的灵敏度等等。

衍射强度变弱本质的原因是由于晶体颗粒变小,还是样品颗粒变小?

强度除了和晶粒度有关外,还和晶粒的表面状态有关。一般颗粒越细,其表面积越大,表面层结构的缺陷总是比较严重的。结构缺陷将导致衍射强度降低和衍射峰宽化。XRD 研究的应该是晶粒、晶体的问题,与晶体结构关联的问题,不是样品颗粒的大小问题,谢乐公式算的 应该也是晶粒的大小。样品颗粒的大小要用别的方法测定.,例如光散射、X 射线散射、电镜等。



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发布时间
2023-04-13 14:07
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