对于分装或总装，采用吸入法。
被检工件冲入氦-氮混合气体，利用被检工件装配面或疑是漏点进行找漏。
检漏仪显示数值超过规定值即为有漏。
对于体积较大的工件，采用背压发，按照工件体积的大小试用不同大小的检漏罐。
通常把被检工件冲入0.6MPa的纯氦或氦（含量30%）-氮混合气体，然后放入检漏罐中。
漏孔距离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同，所以喷氦气应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远进行。
真空检漏的具体方法检漏步骤为:1.用力按压气袋从粗抽阀开始向炉体方向喷吹氦气，第-遍针头移动的速度可以快些，对设备的全部焊口、法兰连接、动密封、热电偶连接等处进行检漏，在焊口不规整及法兰连接缝隙不均匀处将喷吹移动速度放缓并进行细致检查。
2.不按压气袋，汽车行业检漏厂，用针头缓慢地对位置进行检查，漏孔会吸入针头中存有的少氦气，观测检漏仪屏幕漏率值喷吹过程中的变化，找到漏率大且上升快的点即是漏点。
检漏设备：质谱检漏仪之间使用金属软管连接。
氦质谱检漏仪应在校验后使用并在检漏期间每 1- 2 小时校验。
检漏的方式是：链接被检化工管道和真空泵组以及氦质谱检漏仪，用真空泵组把管道抽真空，达到一定真空度。
氦质谱检漏主要领域：航空航天——燃料箱、油箱、及各种电机等；仪表制造——压力传感器、阀门、波纹管和密封焊接件等。
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