采用压力控制器方案,控制往真空腔体内充入的惰性气体的压力以营造一个控制良好的镀膜环境。与反应腔体直接连接的外置真空计测量持续的过程压力,该压力读数通过模拟信号传输到压力控制器并显示。
进入腔体内的参与反应的气体的流量由质量流量控制器控制。因为上述的压力控制器可以测得腔体内的压力、并通过调节非反应类气体的含量实时调节过程压力,从而使腔体内形成利于沉积的镀膜环境。
采用派瑞林(Parylene)封装的用于人工耳蜗植入的电极阵列,由于派瑞林涂层较低的杨氏模量,使得电极探针具有很好的硬度和韧性,同时可通过调整硅衬底的厚度来调整电极的柔软性,为制备的派瑞林(Parylene)涂层包裹的微电极阵列。派瑞林(Parylene)涂层所具有的透明性,使得在植入试验中能很好地监测探针植入深度,同时,电极被派瑞林(Parylene)涂层包裹,纳米涂层模具,即使电极破碎,外层派瑞林(Parylene)涂层也将碎片连在一起,汕头纳米涂层,从而减小手术伤害和植入伤害。整个装置集成了位置传感器和派瑞林涂层包裹的传输线,实验表明,该装置能够提高人工耳蜗声音识别能力和位置的准确性。在制作多通道听觉假体时,变长度的神经刺激电极阵列也采用派瑞林涂层作为刺激电极的包裹材料,从而提高植入器件的生物相容性。
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