在这一模式中,经典的对比度信息根据样品对电子束的吸收所获得。
样品中较厚的区域或者含有原子数较多的区域对电子吸收较多,半薄切片技术服务,于是在图像上显得比较暗,而对电子吸收较小的区域看起来就比较亮,这也是亮场这一术语的来历。
图像可以认为是样品沿光轴方向上的二维投影,而且可以使用比尔定律来近似。
对亮场模式的更复杂的分析需要考虑到电子波穿过样品时的相位信息。
由于扫描电子显微镜具有上述特点和功能,所以越来越受到科研人员的重视,用途日益广泛。
扫描电子显微镜已广泛用于材料科学(金属材料、非金属材料、纳米材料)、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害(火灾、失效分析)鉴定、侦察、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等。
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如前所述,通过调整磁透镜使得成像的光圈处于透镜的后焦平面处而不是像平面上,就会产生衍射图样。
对于单晶体样品,衍射图样表现为一组排列规则的点,对于多晶或无定形固体将会产生一组圆环。
对于单晶体,衍射图样与电子束照射在样品的方向以及样品的原子结构有关。
通常仅仅根据衍射图样上的点的位置与观测图像的对称性就可以分析出晶体样品的空间群信息以及样品晶体方向与电子束通路的方向的相对关系。
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