XRD小角度检测XRD残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
什么是残余应力?
●内应力：没有外力或外力矩作用而在物体内部存在并自身保持平衡的应力
●国技文献习惯将类内应力称为残余应力
●一般英、美文献中把类内应力称为“宏观应力”(Macrostress)
●把第二类和第三类内应力合称为“微观应力”(Microstress)
●残余应力可以认为是类内应力的工程名称
●通常所说的“热处理应力”，“焊接应力”，“铸造应力”等则是实施这些工艺的过程中产生并终残留的残余应力（即类内应力）的简称
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实际应用
●实验准备
?样品做必要的清洗
?去加工应力
?确定衍射晶面。扫描样品在2θ=100-140°范围内的谱图，确定衍射晶面（峰背比较高，XRD小角度检测费用多少，峰较窄，谱线平滑、衍射角高)
●实验设备
?同倾法：常规衍射仪，θ和2θ可单独转动即可。
?侧倾法：多功能样品台，XRD小角度检测多少钱，样品可做Ψ侧倾，好可绕自身法线转动，则可测不同方向的应力。●扫描图谱
?选择Ψ角为0°，15°，25°，35°，45°
?选择侧倾法扫描
?电压40kV，电流40mA，Cu辐射，步进扫描，步长0.02°，计数时间4s
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X射线衍射技术（XRD）在建筑材料检测中的应用
样品要求X射线衍射技术适用于多种类型产品的检测，送检样品可为粉末状、块状、薄膜、镀膜及其它形状。样品种类不同，具体要求也有所区别：
①粉末样品需要量约为2g以上（视其密度和衍射能力而定），送检粉末样品需预先干燥并研磨至大于200目；
②块状和薄膜样品要求宽度不小于1.5cm、厚度不大于0.5cm近似平面试样；
③对于测量金属样品的微观应力（晶格畸变），测量残余奥氏体，要求制备成金相样品，并进行普通抛光或电解抛光，消除表面应变层；
④若样品在空气中不稳定，会吸湿、风化、分解，内蒙古自治XRD小角度检测，则需采取保护隔离措施，若试样、、有毒，则应采取相应的防护措施。
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