氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。
由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。
检漏仪自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。
氦质谱检漏仪由微机控制，菜单的选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。
检漏仪高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。
主要检测范围包括下面一些设备 部件:凝汽器及相连的负压系统，包括凝汽器与汽侧相联设备管道，有二级旁路、三级诚温器、疏水扩容器、低加疏水、轴加疏水、空气管道、给水泵密封水回水、真空破坏门、水位计等;低压缸部分，包括低压排汽、末级抽汽管道和加热器部分，次末级抽汽管道和加热器部分，低压缸上方防爆膜及其结合面法兰、低压缸汽封以及接合面等:其他部分，包括真空压力表头、排汽缸温度计套管、电接点水位计、疏水泵、凝结水泵机械密封等。
氦质谱检漏仪使用氦气作为示踪气体，氦是单原子稀有气体分子，在空气中的含量(5.2ppm)，电力行业检漏解决方案， 无色、无味，常温下为气态的惰性气体，极不活泼，既不能燃烧，也不助燃，化学性能稳定。
在检测器件的密封性能时，遇到器件大漏时，有大量的氦气进入氦质谱检漏仪，短时间内仪器内部氦气难以清除，造成仪器的本底升高，仪器的检测灵敏度降低，影响仪器的再次检测精度。
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