硅晶圆干燥烘烤专用class10级无尘室烘烤箱

一、双层无尘烘箱产品概述:

本产品是参照GB/T11158-1989，GB2423.2-1989干燥箱技术条件及国家相关标准研究制造，广泛应用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IC、医药、实验室等生产及科研部门。

二、双层无尘烘箱主要技术指标：

2.1产品型号：COL-2D(双箱)

2.2无尘等级：Class 10;

2.3温度范围： +60～ +300℃；

2.4升温速度：常温～+200℃,升温速度>6℃/min  ,降温速度 3℃/min(适用于150℃～80℃);

2.5温度均匀度：±2.5℃;（空载）

2.6温度度：±1℃（空载）

2.7工作室尺寸：W700×H500×D600

2.8电    源：380v , 50Hz

2.9环境条件：温度 5～40℃；湿度 ≤85%R.H

2.10气压：86～106Kpa

三、双层无尘烘箱箱体结构：

3.1烘箱由箱体部分、电器控制柜部分、电加热及风道系统部分组装而成，结构合理，外观美观大方；

3.2全周氩焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢电热产生器，防机台本身产生微尘；

3.3箱体材料：SUS304#不锈钢板； 

3.4内胆材料：采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污避免烘烤时产生 PARTICLE； 

3.5中桶材料：采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污及氩焊密封加工(防污染)。

3.6 保温材料：采用正厂中央玻璃纤维公司出品，100K级高密度高保温板制造。
 

3.7电热器：采进口覆套式电热器 (SHEATHED HEATER)无尘化电热发生器。

3.8洁净度：烤箱内部均采无尘化配件及材料。

双层无尘烤箱热线：021-37693997，15221744475 传真:021-37832075联系人：蒋鑫,

网站：www.done-e.com.