全不锈钢class10级烘箱，配有特殊过滤装置晶圆烘烤烘箱

一、Class 10无尘烘箱产品概述:

本产品是参照GB/T11158-1989，GB2423.2-1989干燥箱技术条件及国家相关标准研究制造，广泛应用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IC、医药、实验室等生产及科研部门。

二、Class 10无尘烘箱主要技术指标：

2.1.无尘烘箱型号：COL-4

2.2无尘等级：Class 10

2.3温度范围： +60℃～ +300℃；

2.4温度均匀度：±1.5%;

2.5温度波动度：±0.5℃（空载）

2.6温控精度：±0.1℃;

2.7烘箱搁板为活动形式。

三、Class 10无尘烘箱箱体结构：

3.1烘箱由箱体部分、电器控制柜部分、电加热及风道系统部分组装而成，结构合理，外观美观大方；

3.2全周氩焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢电热产生器，防机台本身产生微尘；

3.3箱体材料：采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁可防止微尘； 

3.4内胆材料：采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁去油污避免烘烤时产生 PARTICLE； 

3.5中桶材料：采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁去油污及氩焊密封加工(防污染)。

3.6 保温材料：超细玻璃棉； 

3.7排 气 口：ф50； 

3.8加热方式：无尘加热器

3.9采平面水平由后向前送风后经美国进口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"装置 (特殊风道设计)送风，过滤效率99.99%，Class 100,排气口：３"φ(附自动启闭风门)，以达到强烈循环效果而降温。

3.10 压缩气体过滤器，可把气体过滤到CLASS 10，净化气体流量：300L/分钟。

Class 10无尘烤箱热线：021-37693997，15221744475 传真:021-37832075联系人：蒋鑫,

网站：www.done-e.com.