单晶硅激光精密切割 定制加工
单晶硅具有准金属的物理性质,有较弱单晶硅主要用于制作半导体元件。
用途: 是制造半导体硅器件的原料,用于制大功率整流器、大功率晶体管、二极管、开关器件等
单晶硅圆片按其直径分为6英寸、8英寸、12英寸(300毫米)及18英寸(450毫米)等。
直径越大的圆片,所能刻制的集成电路越多,芯片的成本也就越低。
但大尺寸晶片对材料和技术的要求也越高。
单晶硅按晶体伸长方法的不同,分为直拉法(CZ)、区熔法(FZ)和外延法。
直拉法、区熔法伸长单晶硅棒材,外延法伸长单晶硅薄膜。
直拉法伸长的单晶硅主要用于半导体集成电路、二极管、外延片衬底、太阳能电池。
晶体直径可控制在Φ3~8英寸。
区熔法单晶主要用于高压大功率可控整流器件领域,广泛用于大功率输变电、电力机车、整流、变频、机电一体化、节能灯、电视机等系列产品。
晶体直径可控制在Φ3~6英寸。
外延片主要用于集成电路领域。
由于成本和性能的原因,直拉法(CZ)单晶硅材料应用广。
在IC工业中所用的材料主要是CZ抛光片和外延片。
存储器电路通常使用CZ抛光片,因成本较低。
逻辑电路一般使用价格较高的外延片,因其在IC制造中有更好的适用性并具有消除Latch-up的能力。
硅片直径越大,技术要求越高,越有市场前景,价值也就越高的导电性,其电导率随温度的升高而增加,有显著的半导电性
激光加工的特点:
1. 激光切割的切缝窄,工件变形小
2. 激光切割是一种高能量、密度可控性好的无接触加工
3. 激光切割具有广泛的适应性和灵活性
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梁经理