一种带传感器单元交换方法的便携式半导体材料气体检测仪
传感器单元可随时更换，以在一个单元中检测各种气体类型
无需校准气体检测仪，减少维护时间和成本
警报声是一种缓慢的间歇性声音，会随着气体浓度的变化而逐渐加速，当浓度变高时，连续的声音会通知您。
用法：用于检测半导体工厂中半导体材料气体的泄漏
◆ 便携式半导体材料气体检测仪
◆ 固定式半导体材料气体检测单元
规范
| 半导体材料气体 |
| 恒电位电解 |
| 自动抽吸 |
| 取决于规格 |
| 【报警设定值】 【报警方式】 蜂鸣器声音、报警灯（红色）闪烁及液晶闪烁显示 |
| 60秒内（60%响应） |
| 宽62×高150×深128毫米（不包括突起） |
| 约1.3公斤 |
| 0°C~+40°C |
| 12小时以上（使用NF3传感器单元时为8小时以上） *使用碱性电池时，20°C，无报警。 因环境条件、使用条件、存储期限、电池制造商等而异。 |