在深圳设立外商独资企业需要准备以下资料：
1. 申请书，内容包括企业名称、注册地、投资总额、注册资本、投资者名称、法定代表人、经营范围、经营期限等基本信息。
2. 投资者合法注册证明文件，如商业登记证、营业执照、组织机构代码证等，以及投资者银行资信证明、法定代表人身份证明等其他相关文件。
3. 投资意向书，包括投资金额、出资方式、出资期限、利润分配方案等内容，以及各方签署的合同和章程。
4. 公司名称预先核准通知书，以及公司注册地址的租赁合同和房产证明。
5. 公司法定代表人身份证明、投资方代表名单和授权书，以及投资方代表的身份证明和简历。
6. 公司注册资本证明和验资报告，以及公司股权结构图和股权转让协议（如果有）。
7. 公司章程和营业执照，以及相关税务登记证明、组织机构代码证等其他证照。
以上资料应准备齐全并确保真实准确，以便顺利完成外商独资企业的注册登记手续。如有需要，可以向当地工商行政管理部门咨询或寻求专业机构的帮助。