| 标准号 Standard No. | 中文标准名称 Standard Title in Chinese | 英文标准名称 Standard Title in English | 状态 State | 备注 Remark |
| GB/T 6624-1995 | 硅抛光片表面质量目测检验方法 | Standard method for measuring the surfacequality of polished silicon slices by visual inspection | 废止 | 1995-12-01实施,代替GB 6624-1986,2010-06-01废止,被GB/T 6624-2009代替 |
| GB/T 6624-2009 | 硅抛光片表面质量目测检验方法 | Standard method for measuring the surface quality of polished silicon slices by visual inspection | 现行 | 2010-06-01实施,代替GB/T 6624-1995 |
本标准规定了在一定光照条件下，用目测检验单晶抛光片（以下简称抛光片）表面质量的方法。本标准适用于硅抛光片表面质量检验。外延片表面质量目测检验也可参考本方法进行。
http://c.gb688.cn/bzgk/gb/showGb?type=online&hcno=F0364B45636359411C53DCD5F4084EE6