EDS是一个电子壳层的电子被外来粒子或者能量激发，留下一个空位，然后外层电子跃迁至这个空位，同时就会放出特征X射线，这样不同壳层之间的电子转移导致的能量差就会有不同的谱线，EDS谱线就是把这些特征X射线脉冲的累积分开得到的。
这样一来，谱线越多，说明外面的电子占有壳层越多。而定量分析时是根据不同元素来选择不同线系的谱峰强度以及这个元素的响应值来做计算的，所以谱峰多跟元素含量没有关系。
EDS能谱分析范围
混合物，薄膜，腐蚀产物，颗粒物，粉末，芯片，沥青，石墨等。
分析项目：EDS能谱分析
EDS能谱分析报告有哪些作用?
1、销售使用。(有了第三方检测报告，能让自己的产品在销售方面体现出一定的优势性)
2、改善产品质量使用。(通过检测报告数据，发现自身产品问题所在，提高产品质量，降低生产成本)
3、产品进出口使用。
4、产品质控及原因分析使用。
5、科研论文数据使用。
EDS能谱分析标准
GB/T 18735-2014 微束分析 分析电镜(AEM/EDS)纳米薄标样通用规范
GB/T 36401-2018 表面化学分析 X射线光电子能谱 薄膜分析结果的报告
GB/T 35099-2018 微束分析 扫描电镜-能谱法 大气细粒子单颗粒形貌与元素分析
GB/T 35158-2017 俄歇电子能谱仪检定方法